9月6日，半导体晶圆厂自动化设备企业弥费科技宣布完成超亿元级别的A轮融资，本轮资金由启明创投领投，金浦智能和红晔资本跟投，所得资金将用于扩大运营规模、加强研发投入并推动海外市场开拓。
弥费科技创办于2014年，总部位于上海，是一家专注于为半导体晶圆厂提供自动物料搬运系统（AMHS）的自动化设备企业，覆盖生产、研发与销售全链条。
在半导体晶圆厂中，AMHS是提升稼动率和产品一致性的关键之一。以28nm工艺节点为例，平均光刻层数约50层、工艺步骤超过千步、生产周期约90天；一个月产能4万片的晶圆厂在该节点的全自动晶圆厂每日晶圆盒传送量往往超过10万次。此时，AMHS 的特性和优势就会显现，它在满足高效运作的同时，也降低了对无尘车间劳动密集度和晶圆品质稳定性的依赖，因此成为先进工艺晶圆厂实现大规模量产的必备系统。
AMHS(AutoMated MateRial handling system)
弥费科技具备丰富的产品线并掌握核心技术，供应链安全可控。从2016年起，已为国内外多家8英寸和12英寸晶圆厂提供 AMHS 相关产品，包括调度软件、传送及存储设备，并为40/28纳米及以下工艺节点提供净化设备，客户覆盖国内外知名晶圆代工厂。
弥费科技创始人兼CEO缪峰表示：公司致力于成长为具有全球影响力的半导体自动化设备企业。经过几年的探索，公司已从 AMHS 的外围产品走向核心技术研发阶段，需要更多人才以加速突破。A轮融资被视为进入资本市场的第一步，也是推进为晶圆厂客户提供完整 AMHS 体系的重要一步。我们希望通过人才、资本与产业资源的协同，加速实现国际竞争力。
启明创投合伙人叶冠泰表示，近几年中国的晶圆厂扩张速度处于全球领先水平，半导体设备投入持续增长。弥费科技团队在半导体产业拥有丰富经验，在自动化物料设备领域提前布局，具备交期和性价比优势，有机会抓住国内晶圆厂提升国产设备采购意愿的历史机遇，推动产业升级。同时，我们期待弈费科技进一步拓展海外市场，成为半导体智慧工厂领域的全球领先企业。
