SEMICON CHINA 2026 展示多款新产品

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SEMICON CHINA 2026 将于 3 月 25 日至 27 日在上海举行。本次展会在 N3 馆 344 及 E6 馆 617 展位展示半导体领域的创新技术与产品解决方案，聚焦核心零部件与设备自主研发制造的国产化进程。

核心零部件的关键工艺环节

参展方专注于半导体设备的自主研发与制造，旨在推动国产化升级。在本届展会上，将推出多款新产品，包括射频电源、固态匹配器、ESC 直流电源和射频传感器系列。这些新一代射频电源覆盖 400 kHz 到 60.0 MHz 的全频段，功率范围从 1.2 kW 延伸至 50 kW，能够为不同工艺与设备提供精准匹配，广泛适用于多种半导体应用场景。

此外，还将展出一系列流量控制产品，如气体压力控制器、气体质量流量校验仪以及水蒸气输送控制器等，致力于满足工艺腔室对气体流量的多样化控制需求，为工艺腔室的稳定性与真空环境提供可靠保障。

新技术的发布与射频技术的赋能

3 月 26 日 13:40-14:00，射频技术总监将于 N2 馆 M4 会议室发表主题演讲，聚焦《新一代射频电源》，诚邀行业朋友莅临交流！

双馆联动，共筑完整解决方案

产品矩阵涵盖从射频控制到流量控制、压力测控，再到晶圆传输的多项关键环节。作为行业盛会，诚邀业界同仁、合作伙伴及专家莅临展位（N3-344 & E6-617），共同探讨半导体核心零部件技术的新发展。