4月23日，台积电副共同营运长张晓强在论坛上表示，该公司不打算购买阿斯麦最新的光刻机，主要是因为其价格过高。
据了解，这款光刻机的单台售价超过3.5亿欧元，折合人民币近28亿元，远超行业设备的普遍水平。
张晓强指出，新一代设备价格“非常昂贵”，同时他强调，现有的EUV设备能够满足生产和研发的需求，发挥其应有的价值。
这款光刻机支持1.4nm及以下先进制程，其分辨率和制程能力显著优于上一代设备，但相应成本也大幅上升。
其价格接近普通EUV设备的1.8倍，主要由于其独特的光学组件、复杂的光源系统和长时间的调试周期。此外，全球仅阿斯麦能够提供此类设备，进一步推高了售价。
尽管台积电并未完全放弃该技术，之前已采购少量设备用于研发，但尚未投入量产。
公司正在通过工艺优化，减少对新设备的依赖，近期已公布A13与N2U两项新工艺，计划在2029年与2028年投产。这些新工艺旨在增强芯片能效、缩小面积，同时兼顾成本与性能。
作为阿斯麦的主要客户，台积电的采购暂停将影响阿斯麦的新设备量产节奏。
阿斯麦原计划在2027年至2028年大规模生产High-NA EUV，并设定2030年营收目标，现在面临客户期待的挑战。
在台积电资本开支压力较大的情况下，资金优先投向3nm扩产、2nm研发与产能布局。
