ASML向中芯国际出售DUV设备

3月5日消息，中芯国际日前发布公告，表示根据批量采购协议，公司已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月内与阿斯麦集团签署了购买合同，合同总金额为1,201,598,880美元。

根据ASML的公开信息，此次交易涉及DUV光刻技术设备的购买。

据了解，台积电的N7（第一代7nm工艺）和N7P（第二代7nm工艺）是采用DUV光刻机生产的，而N7+（第三代7nm工艺）则使用更先进的EUV光刻机。因此，此次采购并未涵盖EUV光刻机。中芯国际已有DUV光刻机，此次购买主要是为了扩大生产能力。传闻中，所购设备型号可能包括NXT 1980Di和NXT2050i。