全面拥抱EUV光刻,预计将带来重大工艺升级
Intel在10nm节点的进展长期落后于预期,原因之一是对EUV光刻设备的依赖。早期,Intel曾认为EUV技术尚未成熟,因此在10nm节点采用了多重曝光工艺,量产难度高,导致工艺延期。
如今Intel态度发生转变,开始重视EUV光刻工艺。毕竟三星和台积电的EUV已实现量产多年,Intel也计划在7nm节点全面采用EUV,但该计划同样遭遇时间推迟,预计2023年量产。
在最近一次参与摩根大通的会议上,CEO基辛格表示,Intel将全面拥抱EUV光刻工艺,显示出对EUV进行多代重大改进的计划,并将在晶体管级别推进显著提升。
从Intel的表态可见,他们对EUV工艺充满信心。各厂商的EUV实施进展各不相同,而Intel的表态暗示将对EUV展开重大改进,甚至推进晶体管级别的升级。
