全球媒体对人工智能潜力的关注由来已久。自2017年 AlphaGo 击败多位围棋高手之后,业界对 AI 在工业生产与日常生活中的应用前景有了更清晰的认知。

某知名存储芯片厂商已开始将人工智能技术应用于半导体生产过程,以提升生产效率与良品率。
该厂商在本周二披露,已将人工智能解决方案引入生产流程,目标是提高产出与稳定性。
所采用的方案由 GauSS 实验室开发,名为“Panoptes VM”的虚拟测量人工智能解决方案。它通过传感器数据对生产过程的结果进行预测。
目前,该厂商将 Panoptes VM 引入薄膜沉积工艺。薄膜沉积是在晶圆上形成薄膜的关键步骤,薄膜的厚度和反射率直接关系到半导体的质量,但由于薄膜极薄且尺寸微小,对每块晶圆进行测量需要大量时间与资源。
在引入 Panoptes VM 之后,厂商在提高产量的同时,工艺的离散程度也平均提高了 21.5%。
GauSS 实验室专注于工业人工智能,相关投资方也对其进行了投入。随着 Panoptes VM 在薄膜沉积环节发挥作用,双方预计将把这一人工智能解决方案推广至更多工艺环节。
